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Fabrication of cantilever with self-sharpening nano-silicon-tip for AFM applications
  • ISSN号:0946-7076
  • 期刊名称:Microsystem Technologies
  • 时间:2013.2
  • 页码:285-290
  • 相关项目:高灵敏度“生物分子膜”门电极AlGaN/GaN HEMT生物传感器的研制及其传感机理研究
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