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Dynamic analysis of spherical film as sensing element for detecting micro-force
  • ISSN号：0142-3312
  • 期刊名称：Transactions of the Institute of Measurement and C
  • 时间：2013.5.5
  • 页码：267-273
  • 相关项目：球膜光学微纳牛力检测原理研究
作者： Lu, Yonghua|Lu, Zhanhao|
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球膜光学微纳牛力检测原理研究
期刊论文 26 专利 3
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