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Modeling the pull-in behavior of electrostatically actuated micro beams by an approximate finite ele
  • ISSN号:0894-3370
  • 期刊名称:International Journal of Numerical Modelling: Elec
  • 时间:2014.1
  • 页码:89-98
  • 相关项目:机构运动的混沌边缘及控制和反控制的研究
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