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用等效应力法分析温度变化对胶粘反射镜面形的影响
  • ISSN号:1004-4213
  • 期刊名称:光子学报
  • 时间:2015.10
  • 页码:101-106
  • 分类:TH122[机械工程—机械设计及理论]
  • 作者机构:[1]中国科学院长春光学精密机械与物理研究所应用光学国家重点实验室,长春130033, [2]中国科学院大学,北京100039
  • 相关基金:国家自然科学基金(Nos.11174274,11174279)资助
  • 相关项目:大气湍流波前畸变的超前预测方法研究
中文摘要:

基于等效应力法分析了温度变化对反射镜面形准确度的影响.对反射镜粘接处施加一定量的径向强迫位移约束,使其受到与热应力大小一致的应力作用,在该强迫位移约束下反射镜面形变化与热应力作用下反射镜面形变化基本一致.对直径为70mm、厚度为15mm的反射镜进行粘接实验,用ZYGO干涉仪测定温变前后反射镜的面形变化.当温度由20℃降到16℃时,反射镜面形峰谷值和均方根值的变化量分别为0.005λ和0.002λ(λ=632.8nm),理论计算的峰谷值和均方根值变化量分别为0.004λ和0.002λ;当温度由20℃升高到30℃时,反射镜面形峰谷值和均方根值变化量分别为0.013λ和0.006λ,理论计算的峰谷值和均方根值变化量分别为0.012λ和0.004λ,实验值和模拟分析值基本一致.

英文摘要:

The equivalent stress method was proposed to analyze the surface change of the mirror under the temperature change.The forced displacement restrain was applied on the bonded position of the mirror to ensure the mirror suffer the equivalent stress compared with the heat stress.The surface change of the mirror under the action of the forced displacement was consistent to the one under the action of the temperature change.A bonded experiment to the mirror whose diameter is 70 mm and thickness is 15 mm and surface accuracy of the mirror is measured by the fine ZYGO interferometer in different temperatures.It is indicated that when the temperature descended from 20℃ to 16℃,the mirror surface change of the Peak to Valley(PV)and Root Mean Square(RMS)are 0.005λand 0.002λ,while the simulation change of the PV and RMS are 0.004λand 0.002λ.When the temperature increased from 20℃to 30℃,the mirror surface change of the PV and RMS are 0.013λand 0.006λ.The simulation change of the PV and RMS are 0.012λand 0.004λ.The experimental result agrees with the simulation basically,which illustrate the equivalent stress method based on the forced displacement restrain can express the effect of the temperature change on the surface accuracy change of the mirror perfectly.

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期刊信息
  • 《光子学报》
  • 中国科技核心期刊
  • 主管单位:中国科学院
  • 主办单位:中国光学学会 西安光机所
  • 主编:侯洵
  • 地址:西安市高新区新型工业园信息大道17号47分箱
  • 邮编:710119
  • 邮箱:photo@opt.cn
  • 电话:029-88887564
  • 国际标准刊号:ISSN:1004-4213
  • 国内统一刊号:ISSN:61-1235/O4
  • 邮发代号:52-105
  • 获奖情况:
  • 中文核心期刊,曾获中国光学学会先进期刊奖,中国科学院优秀期刊三等奖,陕西省国防期刊一等奖等
  • 国内外数据库收录:
  • 俄罗斯文摘杂志,美国化学文摘(网络版),波兰哥白尼索引,荷兰文摘与引文数据库,美国工程索引,美国剑桥科学文摘,英国科学文摘数据库,日本日本科学技术振兴机构数据库,中国中国科技核心期刊,中国北大核心期刊(2004版),中国北大核心期刊(2008版),中国北大核心期刊(2011版),中国北大核心期刊(2014版),英国英国皇家化学学会文摘,中国北大核心期刊(2000版)
  • 被引量:20700