中文摘要：

100 GHz 穿了的 A 45 隧道波导栅栏(美国线规) 基于 Si nanowire 波导被设计，模仿并且制作。转移功能方法在光谱模拟被使用。与设计价值一致的分别地，中央波长和隧道间距是 1 562.1 nm 和 0.8 nm 的模仿的结果表演，和串音是大约 23 dB。设备在 silicon-on-insulator (SOI ) 上被制作由深紫外的平版印刷术(DUV ) 和蚀刻技术的诱导地联合的血浆(ICP ) 的底层。45 隧道 6.5 dB 的 100 GHz 美国线规展览插入损失和 8 dB 的串音。

英文摘要：

A 45-channel 100 GHz arrayed waveguide grating（AWG） based on Si nanowire waveguides is designed, simulated and fabricated. Transfer function method is used in the spectrum simulation. The simulated results show that the central wavelength and channel spacing are 1 562.1 nm and 0.8 nm, respectively, which are in accord with the designed values, and the crosstalk is about-23 dB. The device is fabricated on silicon-on-insulator（SOI） substrate by deep ultraviolet lithography（DUV） and inductively coupled plasma（ICP） etching technologies. The 45-channel 100 GHz AWG exhibits insertion loss of 6.5 dB and crosstalk of-8 dB.