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超硬超厚类金刚石薄膜合成研究
  • ISSN号：1001-9731
  • 期刊名称：《功能材料》
  • 时间：0
  • 分类：TN304.18[电子电信—物理电子学]
  • 作者机构：[1]西南交通大学,材料先进技术教育部重点实验室,四川省人工器官重点实验室,四川,成都,610031 西南交通大学,材料先进技术教育部重点实验室,四川省人工器官重点实验室,四川,成都,610031 西南交通大学,材料先进技术教育部重点实验室,四川省人工器官重点实验室,四川,成都,610031 西南交通大学,材料先进技术教育部重点实验室,四川省人工器官重点实验室,四川,成都,610031 西南交通大学,材料先进技术教育部重点实验室,四川省人工器官重点实验室,四川,成都,610031 西南交通大学,材料先进技术教育部重点实验室,四川省人工器官重点实验室,四川,成都,610031
  • 相关基金：国家自然科学基金项目(30270392);四川省基础研究项目(03JY029-062-1)
作者： 张文英[1], 黄楠[1], 孙鸿[1], 冷永祥[1], 杨文茂[1], 陈俊英[1]
关键词： DLC, 类金刚石薄膜, FCVA, 超硬超厚
中文摘要：

采用过滤真空阴极直流弧源(FilteredCathodic Vicuum Arc Deposition,FCVA)方法沉积超硬(＞6000HV)超厚(微米级)的DLC/DLC多层薄膜.通过显微硬度、内应力测量、XPS等方法表明,该薄膜显著优于普通单层薄膜.

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期刊信息
  • 《功能材料》
  • 北大核心期刊（2011版）
  • 主管单位:重庆材料研究院
  • 主办单位:重庆材料研究院
  • 主编：黄伯云
  • 地址：重庆北碚区蔡家工业园嘉德大道8号
  • 邮编：400707
  • 邮箱：gnclwb@126.com
  • 电话：023-68264739
  • 国际标准刊号：ISSN：1001-9731
  • 国内统一刊号：ISSN：50-1099/TH
  • 邮发代号:78-6
  • 获奖情况:
  • 2008、2011年连续获中国精品科技期刊,2010获重庆市双十佳期刊
  • 国内外数据库收录:
  • 美国化学文摘（网络版）,荷兰文摘与引文数据库,美国工程索引,日本日本科学技术振兴机构数据库,中国中国科技核心期刊,中国北大核心期刊（2004版）,中国北大核心期刊（2008版）,中国北大核心期刊（2011版）,中国北大核心期刊（2014版）,英国英国皇家化学学会文摘,中国北大核心期刊（2000版）
  • 被引量:30166