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Influences of  Working Power on Properties for Boron Films Deposited by R. F. Magnetron Spu
  • ISSN号:1013-9826
  • 期刊名称:Key Engineering Materials
  • 时间:2015
  • 页码:210-213
  • 相关项目:硼(10B)/金刚石薄膜复合结构的制备及中子阵列探测技术研究
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