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不同氮氩比的W-Si-N薄膜的阻挡特
  • 期刊名称：固体电子学研究与进展，25, 554, 2005.
  • 时间：0
  • 相关项目：原子层淀积新型Cu互连扩散阻挡层研究
作者： 屈新萍，陆华等
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