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Structural, optical, and electrical properties of Cu-doped ZrO2 films prepared by magnetron co-sputtering
  • ISSN号：1674-1056
  • 期刊名称：《中国物理B：英文版》
  • 时间：0
  • 分类：O484.1[理学—固体物理;理学—物理] O484[理学—固体物理;理学—物理]
  • 作者机构：Department of Physics, College of Science, Yanbian University, Yanji 133002, China
  • 相关基金：Project supported by the National Natural Science Foundation of China （Grant Nos. 51272224 and 11164031 ）.
作者： 姚念琦, 刘智超, 顾广瑞, 吴宝嘉
关键词： 氧化锆薄膜, 光学带隙, 电学性能, 结构形态, 铜掺杂, 磁控溅射, SI(100), 扫描电子显微镜, Cu-doped ZrO2 films, magnetron co-sputtering, resistivity, transmittance
中文摘要：

Corresponding author. E-mail： grgu@ybu.edu.cn

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期刊信息
  • 《中国物理B：英文版》
  • 中国科技核心期刊
  • 主管单位:中国科学院
  • 主办单位:中国物理学会和中国科学院物理研究所
  • 主编：欧阳钟灿
  • 地址：北京 中关村 中国科学院物理研究所内
  • 邮编：100080
  • 邮箱：
  • 电话：010-82649026 82649519
  • 国际标准刊号：ISSN：1674-1056
  • 国内统一刊号：ISSN：11-5639/O4
  • 邮发代号:
  • 获奖情况:
  • 国内外数据库收录:
  • 被引量:406