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脉冲偏压上升沿特性对等离子体浸
  • 期刊名称：物理学报，2007年，第8期 (in press)
  • 时间：0
  • 相关项目：栅网诱导的抗原子氧效应的梯度涂层制备及其侵蚀机理
作者： 黄永宪, 田修波*, 杨士勤, R. Fu
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