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Computer simulation of reactive sputtering
  • ISSN号：0268-1900
  • 期刊名称：INTERNATIONAL JOURNAL OF MATERIALS & PRODUCT TECHN
  • 时间：0
  • 作者或编辑：3448
  • 页码：101-106 Suppl. 1 2001
  • 语言：英文
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作者： Zhu SL|Wang FH|Wu WT|
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