中文摘要：

研究了耐高温的太阳能选择性吸收膜的制备、结构和光学性能。用TiAl靶把Ar+O2气氛中反反溅射方法制备了TiAlOx多层膜和梯度膜，吸收率达到90-95%，红外发射率小于0.03，稳定温度高于600℃。提出了反应溅射动力学模型，对反应溅射基本现象作出定量描述并提出新的见解；发生稳态跃变的条件为捕获效应引起的正反馈过程起主导作用；滞后现象可归结于靶面化合物覆盖度的初始值对稳态建立的影响；难以在过渡区稳定工作的原因是异常稳态难以自动建立和自我稳定性差。从理论上预测了两种新的薄膜成份控制方法并成功指导实验；降低薄膜沉积效率可制备中等成份薄膜；稳压反应溅射可制备任意成份薄膜。