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Simulation and experimental studies on substrate temperature and gas density field in HFCVD diamond
  • ISSN号:0218-625X
  • 期刊名称:Surface Review and Letters
  • 时间:2013.4.4
  • 页码:1350020-
  • 相关项目:水润滑条件下CVD金刚石薄膜摩擦学性能及其工具应用研究
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