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ICP—CVD制备高质量疏水性碳氟聚合物薄膜的研究
  • ISSN号：1672-7126
  • 期刊名称：《真空科学与技术学报》
  • 时间：0
  • 分类：TN24[电子电信—物理电子学] Q503[生物学—生物化学]
  • 作者机构：[1]清华大学微电子学研究所,北京100084, [2]不详
  • 相关基金：国家自然科学基金资助（10472055,2003060）
作者： 岳瑞峰[1], 曾雪锋[1], 吴建刚[1], 康明[1], 刘理天[1]
关键词： 微流控, MEMS, 光学器件, 介质上电润湿, 热毛细管
中文摘要：

微流控技术作为微全分析系统的关键与核心，一直是MEMS领域中的一个研究重点．随着微流控技术水平的不断提高以及与其它学科的不断渗透与融合，近年来已经涌现出一批令人注目的研究热点，其中微流控光学器件就是其典型代表．微流控技术与光学器件的融合，为传统光学器件的微型化、阵列化、低成本化以及高精度控制提供了可能．叙述了一些基于微流控技术的可变焦光透镜、显示器件、光开关、以及可调光纤光栅等新型光学器件的近期研究成果和应用背景．图7参21

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期刊信息
  • 《真空科学与技术学报》
  • 中国科技核心期刊
  • 主管单位:中国科学技术协会
  • 主办单位:中国真空学会
  • 主编：李德杰
  • 地址：北京朝阳区建国路93号万达广场9号楼614室
  • 邮编：100022
  • 邮箱：cvs@chinesevacuum.com
  • 电话：010-58206280
  • 国际标准刊号：ISSN：1672-7126
  • 国内统一刊号：ISSN：11-5177/TB
  • 邮发代号:
  • 获奖情况:
  • 国内外数据库收录:
  • 美国化学文摘（网络版）,荷兰文摘与引文数据库,美国工程索引,日本日本科学技术振兴机构数据库,中国中国科技核心期刊,中国北大核心期刊（2004版）,中国北大核心期刊（2008版）,中国北大核心期刊（2011版）,中国北大核心期刊（2014版）,英国英国皇家化学学会文摘,中国北大核心期刊（2000版）
  • 被引量:4421