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SOI纳米线波导和相关器件研究进展
  • ISSN号:1001-5868
  • 期刊名称:《半导体光电》
  • 时间:0
  • 分类:TN256[电子电信—物理电子学]
  • 作者机构:[1]中国科学院半导体研究所集成光电子国家重点实验室,北京100083
  • 相关基金:国家自然科学基金资助项目(60577044).
中文摘要:

SOI纳米线波导具有对光场限制作用强、传输损耗低、弯曲半径小、集成度高、与传统CMOS工艺兼容等优点,采用SOI纳米线波导能够大大缩小光子器件的长度和面积,提高器件工作速度和效率,降低器件功耗。介绍了SOI纳米线波导在模式、损耗、偏振等方面与传统大尺寸硅基波导所表现出来的不同特性,评述了当前关于SOI纳米线波导和基于SOI纳米线波导光子器件的最新研究进展。

英文摘要:

SOI nanowire waveguides have advantages of strong optical confinement, low transmission loss, low bend radius, high integration density and fully compatible with CMOS technique, etc. The length and footprints of the devices based on these waveguides can be reduced, the operation speed and efficiency can be improved and the power can be lowered. The properties of mode, loss and polarization of SOI nanowire waveguides, which are different from those of conventional waveguides with large cross-section, are introduced. Recent progresses of SOI nanowire waveguides and several photonic devices based on these waveguides are reviewed.

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期刊信息
  • 《半导体光电》
  • 中国科技核心期刊
  • 主管单位:信息产业部
  • 主办单位:中国电子科技集团公司第四十四研究所(重庆光电技术研究所)
  • 主编:江永清
  • 地址:重庆市南岸区南坪花园路14号
  • 邮编:400060
  • 邮箱:soe@163.net
  • 电话:023-65860286
  • 国际标准刊号:ISSN:1001-5868
  • 国内统一刊号:ISSN:50-1092/TN
  • 邮发代号:
  • 获奖情况:
  • 重庆市首届十佳期刊称号,1999年,信息产业部1999-2000年度优秀电子期刊称号
  • 国内外数据库收录:
  • 美国化学文摘(网络版),荷兰文摘与引文数据库,日本日本科学技术振兴机构数据库,中国中国科技核心期刊,中国北大核心期刊(2004版),中国北大核心期刊(2008版),中国北大核心期刊(2011版),中国北大核心期刊(2014版),中国北大核心期刊(2000版)
  • 被引量:5924