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A new inertial piezoelectricrotary actuator based on changing the normal pressure
  • ISSN号：0946-7076
  • 期刊名称：Microsystem Technologies
  • 时间：2013.2.1
  • 页码：277-283
  • 相关项目：非对称惯性压电驱动器工作机理与关键技术研究
作者： Wen, Jianming、Ma, Jijie、Zeng, Ping、Cheng, Guangming、Zhang, Zh|
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