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Influence of sputtering power on the high frequency properties of nanogranular FeCoHfO thin films
  • ISSN号:0021-8979
  • 期刊名称:Journal of Applied Physics
  • 时间:2011.4.4
  • 页码:1-3
  • 相关项目:基于LTCC工艺的SIP一体化集成基础技术研究
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