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Stress reduction of diamond-like carbon by Si incorporation: A molecular dynamics study
  • ISSN号:0257-8972
  • 期刊名称:Surface and Coatings Technology
  • 时间:2013.8.8
  • 页码:S190-S193
  • 相关项目:金属掺杂类金刚石薄膜的微结构与应力演变机制研究
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