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Microstructure and property evolution of Cr-DLC films with different Cr content deposited by a hybri
  • ISSN号:0042-207X
  • 期刊名称:Vacuum
  • 时间:2011.2.2
  • 页码:792-797
  • 相关项目:金属掺杂类金刚石薄膜的微结构与应力演变机制研究
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