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磁控溅射法LaMnO3帽子层的外延生长探究
  • ISSN号：1000-3258
  • 期刊名称：《低温物理学报》
  • 时间：0
  • 分类：O484.1[理学—固体物理;理学—物理] TM26[电气工程—电工理论与新技术;一般工业技术—材料科学与工程]
  • 作者机构：上海大学物理系上海市高温超导重点实验室, 上海市上创超导科技有限公司
  • 相关基金：上海市科委(批准号:13111102300,13111102302,14DZ2260700,14521102800);国家自然科学基金(批准号:51202141,51572165,51371111)资助的课题~~
作者： 鲁玉明, 闫祥发, 范峰, 梁玉, 白传易, 刘志勇, 郭艳群, 朱红艳, 范晓鹏, 蔡传兵
关键词： LAMNO3, 帽子层, 直流磁控溅射, 涂层导体
中文摘要：

采用卷对卷装置通过直流反应磁控溅射法在离子束辅助沉积（IBAD）的MgO上生长获得了纯c轴织构的LaMnO3（LMO）帽子层,详细研究了不同基底温度、氧分压、溅射功率及不同MgO基底对LMO帽子层微结构及其性能的影响,研究表明,LMO具有一定的生长优化工艺,而IBAD-MgO基底性能对LMO的外延生长的影响尤为显著.在最优条件下,最终获得了纯c轴织构、面内外半高宽都较小且表面比较致密平整的LMO帽子层,以此LMO薄膜作为缓冲层,通过化学法外延生长的YBCO超导薄膜,其77K自场下Jc达到1.69 MA/cm2.

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期刊信息
  • 《低温物理学报》
  • 北大核心期刊（2011版）
  • 主管单位:中国科学院
  • 主办单位:中国科学技术大学
  • 主编：赵忠贤
  • 地址：安徽省合肥市金寨路96号
  • 邮编：230026
  • 邮箱：LiBiyou@ustc.edu.cn
  • 电话：0551-3601359
  • 国际标准刊号：ISSN：1000-3258
  • 国内统一刊号：ISSN：34-1053/O4
  • 邮发代号:26-136
  • 获奖情况:
  • 国内外数据库收录:
  • 美国化学文摘（网络版）,日本日本科学技术振兴机构数据库,中国中国科技核心期刊,中国北大核心期刊（2004版）,中国北大核心期刊（2008版）,中国北大核心期刊（2011版）,中国北大核心期刊（2014版）,中国北大核心期刊（2000版）
  • 被引量:1577