本文探究了中温处理过程温度对膜表面形貌、厚度以及Ba1-xYx F2+x(BaYF)固溶体相转变的影响.研究表明,在中温处理过程中膜的厚度会随着温度的升高而降低,最后得到的中温处理膜表面无褶皱和裂纹;具体在这一过程发生的反应为当中温处理温度为520℃时,部分BYF固溶体转变为BaF2,其中的Y元素以YF3的形式与水汽反应生成Y2O3;当温度升高到680℃时,生成的Y2O3与CuO反应生成Y2Cu2 O5;当中温处理温度为700℃、720℃,从XRD图中观察到部分BaF2开始与水反应生成BaO;当温度升高到740℃时,BaF2峰完全消失,说明膜中的F元素已完全以HF气体的形式释放出去,而生成的BaO则与Y2Cu2O5反应生成YBCO.