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Diffusion barrier performance of amorphous W-Ti-N films in Cu metallization
  • ISSN号：0042-207X
  • 期刊名称：Vacuum
  • 时间：0
  • 页码：1270-1274
  • 语言：英文
  • 相关项目：双元素活化烧结钨铜复合材料中钨骨架的机制研究
作者： Liang Shuhua|Wang Xianhui|Fan Zhikang|Wang Qingxiang|
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双元素活化烧结钨铜复合材料中钨骨架的机制研究
期刊论文 15
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