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弯曲悬臂梁静电执行器驱动特性的实验研究
  • 期刊名称：微纳电子技术
  • 时间：0
  • 作者或编辑：3448
  • 页码：Vol. 40, No.7/8, pp. 375-377
  • 语言：中文
  • 相关项目：微型光学开关的基础研究
作者： 刘素艳|牛凯|叶雄英|周兆英|
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