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SU-8垂直微镜型MEMS光开关的设计与制作
  • 期刊名称：压电与声光
  • 时间：0
  • 作者或编辑：3448
  • 第一作者所属机构：清华大学
  • 页码：Vol. 23,增刊, pp.288-290
  • 语言：中文
  • 相关项目：微型光学开关的基础研究
作者： 刘素艳|卜敏强|叶雄英|周兆英|
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