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Laser induced damage threshold testing of DUV optical substrates
  • ISSN号：1671-7694
  • 期刊名称：Chinese Optics Letters
  • 时间：2013.6.15
  • 页码：-
  • 相关项目：ArF激光薄膜抗激光损伤阈值与使用寿命预测研究
作者： Deng wenyuan|JIn chunshui|
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期刊信息
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  • 国际标准刊号：ISSN：1671-7694
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  • 获奖情况:
  • 国内外数据库收录:
  • 美国化学文摘（网络版）,荷兰文摘与引文数据库,美国工程索引,美国科学引文索引（扩展库）,中国中国科技核心期刊
  • 被引量:403