位置:成果数据库 > 期刊 > 期刊详情页
大镜面在位检测中的相位恢复技术研究
  • ISSN号:1004-4213
  • 期刊名称:《光子学报》
  • 时间:0
  • 分类:O439[机械工程—光学工程;理学—光学;理学—物理]
  • 作者机构:[1]国防科技大学机电工程与自动化学院精密工程实验室,长沙410073
  • 相关基金:国家自然科学基金(50775217)资助
中文摘要:

为了满足大型光学镜面加工对在位检测的需求,探索了一种应用相位恢复技术的新型镜面测量方法.构建了基于离焦光场的相位恢复测量系统并实现了与此系统相适应的相位恢复算法,此测量系统结构简单且不易受环境振动影响.在此系统基础上,详细分析了各种误差因素以及系统测量;隹确度和测量范围,并针对在位检测的特点和要求,研究了此方法在应用中的可靠性.对一面口径430mm的球面反射镜进行了分平台在位测量实验.实验中分析了不同测量参量对测量结果的影响.相位恢复测量与干涉测量结果对比较为吻合.理论分析和实验都表明该方法切实可行,检测准确度满足光学镜面研抛加工要求。

英文摘要:

To meet the requirement of on site testing in the manufacture of large mirror surfaces, a new method using phase retrieval technology was developed. A phase retrieval testing system based on the wave field at defocus was established together with the phase retrieval algorithm that serves the system. The testing system is simple and free from vibration,based on which,the error sources with testing precision and scope were analyzed in detail. The reliability for practical testing was also studied according to the requirement of on sit testing. The testing for a ball mirror of 430 mm aperture was carried out, where the affection from different testing configuration was also studied. The testing result showed high consistency compared with the result from interferometer. It shows that this method is feasible for high accuracy and suit for the requirement of polishing process.

同期刊论文项目
同项目期刊论文
期刊信息
  • 《光子学报》
  • 中国科技核心期刊
  • 主管单位:中国科学院
  • 主办单位:中国光学学会 西安光机所
  • 主编:侯洵
  • 地址:西安市高新区新型工业园信息大道17号47分箱
  • 邮编:710119
  • 邮箱:photo@opt.cn
  • 电话:029-88887564
  • 国际标准刊号:ISSN:1004-4213
  • 国内统一刊号:ISSN:61-1235/O4
  • 邮发代号:52-105
  • 获奖情况:
  • 中文核心期刊,曾获中国光学学会先进期刊奖,中国科学院优秀期刊三等奖,陕西省国防期刊一等奖等
  • 国内外数据库收录:
  • 俄罗斯文摘杂志,美国化学文摘(网络版),波兰哥白尼索引,荷兰文摘与引文数据库,美国工程索引,美国剑桥科学文摘,英国科学文摘数据库,日本日本科学技术振兴机构数据库,中国中国科技核心期刊,中国北大核心期刊(2004版),中国北大核心期刊(2008版),中国北大核心期刊(2011版),中国北大核心期刊(2014版),英国英国皇家化学学会文摘,中国北大核心期刊(2000版)
  • 被引量:20700