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大型镜面大误差范围相位恢复在位测量研究
  • ISSN号：1004-6941
  • 期刊名称：《计量与测试技术》
  • 时间：0
  • 分类：TN911.7[电子电信—通信与信息系统;电子电信—信息与通信工程]
  • 作者机构：[1]中人民解放军61330部队,河南新乡453000, [2]南京理工大学,南京210094
  • 相关基金：国家自然科学基金资助项目（编号：50775217）
作者： 胡晓军[1], 赵锦瑾[2]
关键词： 应用光学, 相位恢复, 镜面面形测量, 在位检测
中文摘要：

研究了一种基于相位恢复技术的新型镜面测量方法,用于测量大型光学镜面研抛加工过程中较高较陡的面形误差,为光学镜面加工中误差收敛的过渡阶段提供可靠的定量在位测量方法。文中构建了基于离焦光场的相位恢复测量系统并设计适用于大误差检测的相位恢复算法。分析了各种误差因素以及系统测量精度以及测量范围。对一面口径150mm球面反射镜进行了在位测量实验。相位恢复测量与干涉测量结果一致。理论分析和实验都表明该方法切实可行,检测范围和相对精度满足加工要求,具有良好的应用前景。

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期刊信息
  • 《计量与测试技术》
  • 主管单位:成都市质量技术监督局
  • 主办单位:成都市计量检定测试院
  • 主编：
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  • 国际标准刊号：ISSN：1004-6941
  • 国内统一刊号：ISSN：51-1412/TB
  • 邮发代号:62-198
  • 获奖情况:
  • 国内外数据库收录:
  • 被引量:6329