随着空间技术的发展,高精度的光学镜面在天文观测、卫星对地观测等方面应用越来越多,并且一般都是大口径长焦距反射镜面。镜面面形是评价大镜性能的重要指标,在加工中必须经常测量以便及时修正加工误差确保加工精度。传统的基于干涉的检测方法虽然精度高,但是其抗振动、空气扰动能力差,因此难以实现在位检测,致使测量时间长,影响加工效率。基于相位恢复技术的检测方法是最近提出的一种面形检测方法,其抗振动、抗干扰能力强,精度比较高,可以实现大镜的在位检测。但是对于长焦距的镜面,这种方法的测量光路太长,受空间和测量机构的限制,在位测量比较困难。为此本项目借鉴干涉测量中子孔径拼接技术,采用相位恢复技术近距离地对大镜进行在位的局部扫描检测,然后采用一定的拼接算法把局部测量结果合成为整体的面形,从而实现长焦距大口径镜面的在位检测。这种方法可以较好的解决大镜加工的在位检测问题,对提高大镜的加工精度和加工效率具有重要意义。
英文主题词large aperture;long focal length;phase retrieval;in-situ measurement;surface profile