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A flexure-based kinematically decoupled micropositioning stage with a centimeter range dedicated to
  • ISSN号:1083-4435
  • 期刊名称:IEEE/ASME Transactions on Mechatronics
  • 时间:2015
  • 页码:1-8
  • 相关项目:音圈电机直驱的柔性解耦定位系统动力学特性与控制方法
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