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Applications of Inverted Pyramids Corroded by TMAH in PERL Silicon LED
  • ISSN号：1007-0206
  • 期刊名称：《半导体光子学与技术：英文版》
  • 时间：0
  • 分类：TN312.8[电子电信—物理电子学] TQ113.6[化学工程—无机化工]
  • 作者机构：[1]School of Information and Communication Engineering,Tianjin Polytechnic University, Tianjin 300160, CHN
  • 相关基金：Foundation item： Youth Science Foundation project（60706015）
作者： GENG Bo-yun LI Xiao-yun NIU Ping-juan[1]
关键词： 氢氧化铵, 金字塔, LED, 硅腐蚀, PERL, 应用, 硅发光二极管, 各向异性刻蚀, PERL structure, silicon LED, inverted pyramids, TMAH
中文摘要：

GENG Bo-yun （1985-）, male, a native of J iangxi province, China. He is pursuing after his master＇s degree in Tianjin Polytechnic University. His research interests are in the fields of light-emitting silicon and advanced semiconductor process. E-mail： ily_1985122712@tom.com

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期刊信息
  • 《半导体光子学与技术：英文版》
  • 主管单位:信息产业部
  • 主办单位:重庆光电技术研究所
  • 主编：刘俊刚
  • 地址：重庆南坪花园路14号44所（南坪2514信箱）
  • 邮编：400060
  • 邮箱：
  • 电话：023-62806174
  • 国际标准刊号：ISSN：1007-0206
  • 国内统一刊号：ISSN：
  • 邮发代号:
  • 获奖情况:
  • 1999年获重庆市首届期刊质评质优期刊奖,2000年获《CAJ-CD规范》执行优秀奖
  • 国内外数据库收录:
  • 美国化学文摘（网络版）,日本日本科学技术振兴机构数据库
  • 被引量:20