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Optimization of resolution-enhancement technology and dual-layer bottom-antireflective coatings in h
  • ISSN号：1071-1023
  • 期刊名称：Journal of Vacuum Science & Technology B
  • 时间：0
  • 页码：534-540
  • 语言：英文
  • 相关项目：高数值孔径（NA>1）浸没光刻成像中偏振效应研究
作者： Li, Yanqiu|Zhou, Yuan|
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高数值孔径（NA>1）浸没光刻成像中偏振效应研究
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