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Structure and mechanical properties of reactive sputtering CrSiN films
  • ISSN号:0169-4332
  • 期刊名称:Applied Surface Science
  • 时间:0
  • 页码:4425-4429
  • 语言:英文
  • 相关项目:低气氛敏感性类金刚石碳膜的制备及其性能研究
作者: 薛群基|
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