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Study of the pulsed laser vapor doping of the Si (100) with KrF excimer laser and BCl3 gas
  • ISSN号:0169-4332
  • 期刊名称:Applied Surface Science
  • 时间:0
  • 作者或编辑:3448
  • 第一作者所属机构:绍兴文理学院
  • 页码:Vol. 230, 44–49
  • 语言:中文
  • 相关项目:CdS三维光子晶体的制备及其光子带隙的研究
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