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Experiment and identification of the unbalance of aerostatic guideway in micro-scale
  • ISSN号:1424-8220
  • 期刊名称:Sensors
  • 时间:2014.4.21
  • 页码:4416-4427
  • 相关项目:空气静压导轨宏-微尺度气膜波动机理研究
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