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XRD在薄膜结构分析中常见问题的研究
  • 期刊名称：广西物理
  • 时间：2010.12.12
  • 页码：15-18
  • 分类：O4[理学—物理]
  • 作者机构：[1]广西师范学院物理与电子工程学院
  • 相关基金：国家自然科学基金项目(51062001);广西教育厅项目(200911MS148);广西高校优秀人才资助计划项目(RC2007024)
  • 相关项目：无氟溶胶-凝胶法制备Tl-2212高温超导薄膜的研究
作者： 谢清连|黄国华|潘吟松|黄自谦|
关键词： XRD, 薄膜, 晶胞参数
中文摘要：

研究了X射线衍射(XRD)在薄膜结构分析中常见问题的解决方法,提出了取向生长薄膜的面内晶胞参数的测试及计算方法。实验表明,X射线束的扫描方向对反映的晶体结构信息产生影响。理论推导表明,在计算中选择合适强度和合适峰位的衍射峰,才能得到准确的晶胞参数。

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