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Effect of catalyst HF concentration on the electrical characteristics of ultra low-k materials
  • 期刊名称：Processing and Application of Ceramics
  • 时间：2012
  • 页码：97-101
  • 相关项目：电磁场双重诱导下纳米多孔超低k薄膜的制备与物性研究
作者： Zhi-Wei He|Shi-Qiu Zhu|Sheng-Li Wang|Zheng Qi|
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期刊论文 14
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