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磁场作用下氧化铝模板孔洞平行于衬底生长的方法
  • ISSN号:1004-8820
  • 期刊名称:烟台大学学报(自然科学与工程版)
  • 时间:2012
  • 页码:19-21
  • 分类:O471.1[理学—半导体物理;理学—物理]
  • 作者机构:[1]烟台大学光电信息与技术学院,山东烟台264005, [2]中国农业大学物理系,北京100083
  • 相关基金:国家自然科学基金资助项目(51007092);教育部重大项目培育基金资助(708014);教育部专项基金资助项目(2010JS032).
  • 相关项目:电磁场双重诱导下纳米多孔超低k薄膜的制备与物性研究
中文摘要:

通过对阳极氧化法制备氧化铝模板的原理和过程分析,提出了在阳极氧化过程中引入一定强度和方向的磁场,用以控制氧化铝模板生长过程中铝箔内部电流流向,进而实现氧化铝模板孔洞平行衬底生长的一种新方法.从而克服了传统的“一次阳极氧化”或“二次阳极氧化”方法制备的氧化铝模板只能实现氧化铝模板孔洞阵列垂直于衬底生长,限制了其在许多重要领域中的应用这一问题.在原理上探讨了用磁场控制实现氧化铝模板孔洞阵列平行于衬底生长的可行性.并设计了相应的实验装置.

英文摘要:

A novel approach is presented to prepare porous alumina templates, where the pores are generated parallel to the surface of the substrates, on the basis of analysis of the method and the process of anodic oxidation. This is through controlling the current in the alumina templates by applying magnetic field in the process of anodic oxidation. Generally, porous alumina templates are prepared by the two methods named one step anodic oxidation or two step anodic oxidation. The pores of the porous alumina templates, prepared by these two methods, are perpendicular to the substrates, which limits the applications in many fields. This novel approach can solve the problem mentioned above. We discuss the principle of the method and design the device in details.

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期刊信息
  • 《烟台大学学报:自然科学与工程版》
  • 中国科技核心期刊
  • 主管单位:山东省教育厅
  • 主办单位:烟台大学
  • 主编:郭善利
  • 地址:山东省烟台市莱山区清泉路30号
  • 邮编:264005
  • 邮箱:xuebao@ytu.edu.cn
  • 电话:0535-6904913
  • 国际标准刊号:ISSN:1004-8820
  • 国内统一刊号:ISSN:37-1213/N
  • 邮发代号:
  • 获奖情况:
  • 全国高校优秀自然科学学报,山东省优秀科技期刊,被山东省科技厅、山东省新闻出版局评为山东省优秀...
  • 国内外数据库收录:
  • 俄罗斯文摘杂志,美国化学文摘(网络版),美国数学评论(网络版),德国数学文摘,美国剑桥科学文摘,中国中国科技核心期刊,中国北大核心期刊(2008版)
  • 被引量:2538