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　多元材料兼容的UV－LIGA集成制造技术
  • 项目名称：　多元材料兼容的UV－LIGA集成制造技术
  • 批准号：t832386001
  • 项目来源：2008年度教育部科学技术研究重点项目
  • 研究期限：2014-01-
  • 项目负责人：丁桂甫
  • 依托单位：上海交通大学
丁桂甫的项目
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移相器用电磁型集成双稳态RF MEMS开关
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　非硅表面微加工与柔性衬底技术
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