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基于微机械加工技术的新型电化学微驱动器研究
  • 项目名称：基于微机械加工技术的新型电化学微驱动器研究
  • 项目类别：专项基金项目
  • 批准号：59985007
  • 项目来源：国家自然科学基金
  • 研究期限：1900-01-01-1900-01-01
  • 项目负责人：丁桂甫
  • 依托单位：上海交通大学
  • 批准年度：1999
丁桂甫的项目
移相器用电磁型集成双稳态RF MEMS开关
期刊论文 24 会议论文 5
碳纳米管基传感器跨尺度集成制造技术
期刊论文 10
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期刊论文 6
　多元材料兼容的UV－LIGA集成制造技术
基于碳纳米管植布工艺的场发射阴极制备技术研究
期刊论文 15 会议论文 4 专利 4
　多元材料兼容的UV－LIGA集成制造技术