中文摘要：

微细电火花加工技术由于具有设备简单、可控性好、无切削力、适用性强等一系列优点，特别适合微小尺度零件的加工，在微器件的微细加工中具有很大的应用潜力。然而，微细电火花加工尺度微小引起的排屑困难、加工状态不稳定问题仍是制约微细电火花加工发展的一大难题。为此，本项目基于压电陶瓷的逆压电效应提出了压电自激微细电火花加工技术，该技术具有提高加工稳定性，实现短路自消除，提高加工效率等优点。研究工作包括（1）进行了压电自激脉冲式微细电火花加工机理的研究，包括加工过程中介质击穿、放电通道形成、能量转换传递、电极材料抛出、极间介质消电离阶段的特殊性及其演变的内在规律;(2)建立了压电自激脉冲式微细电火花加工材料去除模型;(3) 进行了压电自激脉冲式微细电火花加工放电特性研究；(4)设计、制造出压电自激脉冲式微细电火花加工机床;（5）进行了压电自激脉冲式微细电火花加工工艺实验研究。研究成果为压电自激微细电火花加工技术及机理进一步的研究以及实际推广应用打下了基础。项目研究期间共发表与课题相关的学术论文14篇，其中3篇国际期刊，SCI收录1篇，EI收录4篇,发明专利1项，实用新型专利1项，培养研究生5人。