中文摘要：

收集环境中的振动能量可为分布式低功耗传感器提供绿色、长期的电能供给，MEMS振动能量采集技术面临的难题是如何提高材料能量密度同时降低结构的谐振频率。本项目通过采用压电厚膜和全纵向振动耦合提高材料的能量密度，探索通过无硅基压电厚膜与曲折悬臂梁设计降低谐振频率，研究相关的机电耦合规律和MEMS关键工艺。具体内容包括（1）纵向振动耦合模式压电悬臂梁的机电耦合特性分析与优化；（2）内嵌电极的压电悬臂梁制备原理与工艺，重点研究电极与压电厚膜制备与图形化关键工艺和原理。本项目为高能效MEMS型振动俘能器设计提供一种设计原理和工艺基础，为低功耗电子电路的自供电电源提供一种技术储备。