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技术光学
  • 项目名称：技术光学
  • 项目类别：国家杰出青年科学基金
  • 批准号：69625710
  • 项目来源：国家自然科学基金
  • 研究期限：1900-01-01-1900-01-01
  • 项目负责人：曹健林
  • 依托单位：中国科学院长春光学精密机械与物理研究所
  • 批准年度：1996
成果综合统计
成果类型
数量
  • 期刊论文
  • 会议论文
  • 专利
  • 获奖
  • 著作
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期刊论文
极紫外投影光刻两镜微缩投影系统的光学设计
曹健林的项目
国际光学委员会第19届会议
软X射线衍射反射(Bragg-Fresnel)元件制备方法研究
空间软X射线/极紫外波段成像基础技术研究
期刊论文 5
2001年极紫外光刻国际研讨会议
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