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极紫外投影光刻中的光学问题研究
  • 项目名称：极紫外投影光刻中的光学问题研究
  • 项目类别：重点项目
  • 批准号：69938020
  • 项目来源：国家自然科学基金
  • 研究期限：1900-01-01-1900-01-01
  • 项目负责人：曹健林
  • 依托单位：中国科学院长春光学精密机械与物理研究所
  • 批准年度：1999
曹健林的项目
软X射线衍射反射(Bragg-Fresnel)元件制备方法研究
国际光学委员会第19届会议
2001年极紫外光刻国际研讨会议
空间软X射线/极紫外波段成像基础技术研究
期刊论文 5
技术光学
期刊论文 1