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国际光学委员会第19届会议
项目名称:国际光学委员会第19届会议
项目类别:国际(地区)合作与交流项目
批准号:60210210339
项目来源:国家自然科学基金
研究期限:1900-01-01-1900-01-01
项目负责人:曹健林
依托单位:中国科学院长春光学精密机械与物理研究所
批准年度:2002
曹健林的项目
软X射线衍射反射(Bragg-Fresnel)元件制备方法研究
2001年极紫外光刻国际研讨会议
极紫外投影光刻中的光学问题研究
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