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中文摘要：
光电式电流互感器因其克服了传统电磁式电流互感器的缺点，是智能电网电流监测的理想选择。但目前无源型、有源型、全光纤型光电式电流互感器因其缺陷，限制了其广泛应用。石榴石型光电式电流互感器，因其核心元件石榴石磁畴易受热扰动的影响，导致器件测量误差，这在很大程度上阻碍了人们对其机理的深入研究。本项目旨在设计和研制石榴石型光电式磁场/电流传感器,建立偏磁薄膜影响传感器性能的理论模型，利用磁控溅射法在石榴石上生长钕铁硼偏磁薄膜，改变石榴石的磁畴分布，并实现提高器件测量灵敏度和扩大测量范围的目的。具体包括1）器件结构设计与理论计算，优化工艺参数提高偏磁薄膜的性能；2）建立偏磁薄膜影响石榴石磁畴分布的理论模型；3）通过调试石榴石型光电式磁场/电流传感器测试系统，研究器件性能，为进一步研究石榴石型光电式电流互感器打下基础。
结论摘要：
英文主题词garnet；biasing film；sensor；polarization property；polarization modulator
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