位置：立项数据库 > 立项详情页
　原子层淀积高k/金属栅纳米叠层及功函数调制机理研究
  • 项目名称：　原子层淀积高k/金属栅纳米叠层及功函数调制机理研究
  • 批准号：861737
  • 项目来源：2010年度上海市晨光计划项目
  • 研究期限：2010-07-
  • 项目负责人：孙清清
  • 依托单位：复旦大学
  • 批准年度：2010
孙清清的项目
新型低功耗电子器件
高k介质/拓扑绝缘体界面结构的物理和电学特性研究
期刊论文 1
原子层淀积栅介质/石墨烯纳米叠层的界面和电子结构
期刊论文 24
　原子层淀积高k/金属栅纳米叠层及功函数调制机理研究