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　原子层淀积高k/金属栅纳米叠层及功函数调制机理研究
  • 项目名称：　原子层淀积高k/金属栅纳米叠层及功函数调制机理研究
  • 批准号：t178000001
  • 项目来源：2010年度上海市晨光计划项目
  • 研究期限：2010-07-2012-12
  • 项目负责人：孙清清
  • 依托单位：复旦大学
  • 批准年度：2010
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