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超高密度存储器三维集成关键技术研究
  • 项目名称：超高密度存储器三维集成关键技术研究
  • 项目类别：重点项目
  • 批准号：61334007
  • 项目来源：国家自然科学基金
  • 研究期限：1900-01-01-1900-01-01
  • 项目负责人：刘明
  • 依托单位：中国科学院微电子研究所
  • 批准年度：2013
成果综合统计
成果类型
数量
  • 期刊论文
  • 会议论文
  • 专利
  • 获奖
  • 著作
  • 2
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期刊论文
An overview of the switching parameter variation of RRAM
新型阻变存储器的物理研究与产业化前景
刘明的项目
新型微电子器件集成的基础研究
期刊论文 98 会议论文 12
基于Top-down的分子存储器的加工工艺研究
期刊论文 31 会议论文 13 专利 9
纳米级电子束直写曝光的基础工艺研究
100nm分辨率交替式移相掩模设计中的关键技术研究
期刊论文 23 会议论文 9 获奖 1 著作 2
纳米电子束曝光的散射参数模型研究
期刊论文 7
新型微电子器件集成的基础研究
期刊论文 1
纳米加工与新型半导体器件研究
期刊论文 101 会议论文 13 获奖 2 专利 121