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基于Top-down的分子存储器的加工工艺研究
  • 项目名称：基于Top-down的分子存储器的加工工艺研究
  • 项目类别：面上项目
  • 批准号：60676008
  • 申请代码：F040201
  • 项目来源：国家自然科学基金
  • 研究期限：2007-01-01-2009-12-31
  • 项目负责人：刘明
  • 负责人职称：研究员
  • 依托单位：中国科学院微电子研究所
  • 批准年度：2006
中文摘要：

有机分子存储器是目前国际研究的热点，目前主要工作还集中在材料的组装和性能研究方面。随着研究的深入，探索高效、可集成的分子器件制备工艺意义重大。我们将传统微电子的top-down 加工工艺应用到分子器件的构造上是分子器件取得了有效的成果，为分子电子器件的发展奠定了基础。我们针对目前国际上广泛研究的几种双稳态分子材料进行top-down 加工工艺的研究，从兼容CMOS 工艺角度出发，重点放在对构成分子存储器性能有重要影响的加工工艺上，如有机分子材料的保护层的选择、光刻、高温及其它工艺对双稳态有机分子材料特性的影响、电极材料的选择和特性研究等方面。摸索出适合对有机分子薄膜材料进行加工的top-down 工艺技术，在分子存储器的设计、加工等方面积累关键技术，形成自主知识产权，为未来分子电子器件及其集成奠定了工艺基础。

中文主题词： Top－down 工艺;分子存储器;双稳态分子材料
结论摘要：

英文主题词top-down technology; molecular memory; bistable molecular material

成果综合统计
成果类型
数量
  • 期刊论文
  • 会议论文
  • 专利
  • 获奖
  • 著作
  • 31
  • 13
  • 9
  • 0
  • 0
期刊论文
Asymmetric electrical bistable behavior of an eicosanoic acid/zirconium oxide bilayer system with re
Controllable and reproducible fabrication of high anistropic organic field effect transistors
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One-time Programmable metal-molecule-metal Device
基于 Rotaxane 单分子层的双稳态器件研究
Diameter-Dependant Thermal Conductance Models of Carbon Nanotubes
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电荷俘获存储器中俘获层的研究进展
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Nonvolatile memory devices based on organic field-effect transistors
Optimizating Molecular Orientation for High Performance Organic Thin Film Transistors Based on Titan
Organic Nonpolar Nonvolatile Resistive Switching in Poly(3,4-ethylene dioxythiophene): polystyrenesu
Advances in organic field-effect transistors and integrated circuits
Low Voltage Organic Field Effect Transistor with PMMA/ZrO2 Bilayer Dielectric
Study of top and bottom contact resistance in one organic field-effect transistor
Active layer self-protection process for organic field-effect transistors
Electrical bistable behavior of an organic thin film through proton transfer
3D CMOL: 3D Integration of CMOS/Nanomaterial Hybrid Digital Circuits
有机半导体薄膜层的图形化方法
A novel 2 T P-channel nano-crystal memory for low power/high speed embedded NVM applications
Fabrication of a 256-bits organic memory by soft x-ray lithography
Study of top and bottom contact resistance in one organic field-effect transistor
硬X射线光子筛波导效应研究
基于共沉积技术的AgTCNQ的有机双稳态器件
单次可编程金属-分子-金属器件
可制造性设计在纳米SOC中的应用和发展
高高宽比硬X射线聚焦波带片的制作
会议论文
基于Rotaxane 单分子层的双稳态器件研究
Fabrication and Characteristics of Crossbar Devices with CPMAB Thin-film
3D CMOS/Molecular Hybrid Circuits
A study of the nonzero off-state drain current in organic field-effect transistors
A ZEP520/LOR Bilayer Resist Lift-off Process by E-Beam Lithography for Nanometer Pattern Transfer
3D CMOL Based On CMOS/Nanomaterial Hybrid Technology
Organic Field Effect Transistors Having Hundreds of Nanometers Long Channels
Electrical Resistive Switching in Organic Molecules and High-k Dielectric Bi-layer Films
Copper phthalocyanine thin-film transistors with polyimide as dielectric
Reducing Threshold Voltage of Organic Field-Effect Transistor by using ZrO2/PMMA as Gate Dielectric
Bilayer organic field-effect transistors (OFETs) with better stability
Electrical switching effect in AgTCNQ charge transfer complex by spin-coating with Ag nanoparticles
An Extreme Ultraviolet Lithography Procedure for the Fabrication of Passive Crossbar Arrays
专利
一种电学双稳态有机薄膜的制备方法
一种制备交叉分子电子器件的方法
一种有源层图形化的有机薄膜晶体管的制备方法
一种基于模板制备各向异性有机场效应管的方法
管状栅电极垂直沟道有机场效应晶体管及其制备方法
基于衬底修饰制备各向异性有机场效应管的方法
一种垂直沟道有机场效应晶体管及其制备方法
一种纳米级沟道有机场效应晶体管结构及其制备方法
一种制备交叉结构有机分子器件的方法
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