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纳米级电子束直写曝光的基础工艺研究
  • 项目名称：纳米级电子束直写曝光的基础工艺研究
  • 项目类别：青年科学基金项目
  • 批准号：69906006
  • 项目来源：国家自然科学基金
  • 研究期限：1900-01-01-1900-01-01
  • 项目负责人：刘明
  • 依托单位：中国科学院微电子研究所
  • 批准年度：1999
刘明的项目
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新型微电子器件集成的基础研究
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